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$SiO2위에 증착된 Si1-xGex합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구 김홍승; 이정용; 이승창; 강상원, 한국재료학회지, v.4, no.4, pp.416 - 427, 1994-12 |
감압화학증착의 이단계 성장으로 실리콘 기판 위에 증착한 in-situ 인 도핑 다결정 실리콘 박막의 미세구조 조절 김홍승; 심규환; 이승윤; 이정용; 강진영, 전기전자재료학회논문지 , v.13, no.2, pp.95 - 100, 2000-12 |
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