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| 고상 에피택셜 성장에 의한 PtSi 박막의 형성 최치규; 강민성; 이개명; 김상기; 서경수; 이정용; 김건호, 한국진공학회지, v.4, no.3, pp.319 - 326, 1995-12 |
| 트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 이주욱; 김상기; 김종대; 구진근; 이정용; 남기수, 한국재료학회지, v.8, no.7, pp.634 - 640, 1998-12 |
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- 265 OA Article
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- 2,625 2010 - 2019
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