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2단계 증착법으로 제조한 Pb(Zr,Ti)O3 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구 이원종; 김혁환; 이강운; 남효진, 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집, pp.0 - 0, 2001-05-01 |
Pt/Ti/SiO2/Si 기판의 증착조건 및 열처리 조건이 PZT 박막의 결정구조 및 전기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구 이원종; 남효진; 김현호, 제5회 한국반도체 학술대회, pp.0 - 0, 1997-01-01 |
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