플라즈마 증착 방법에 의한 수소화된 비정질질화규소 박막의 특성연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이창우 | ko |
| dc.contributor.author | 김서윤 | ko |
| dc.contributor.author | 배병성 | ko |
| dc.contributor.author | 이주천 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-25T01:13:31Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-25T01:13:31Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1991-05 | - |
| dc.identifier.citation | 응용물리, v.4, no.2, pp.217 - 224 | - |
| dc.identifier.issn | 1013-7009 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/58672 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | 플라즈마 증착 방법에 의한 수소화된 비정질질화규소 박막의 특성연구 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 4 | - |
| dc.citation.issue | 2 | - |
| dc.citation.beginningpage | 217 | - |
| dc.citation.endingpage | 224 | - |
| dc.citation.publicationname | 응용물리 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이창우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김서윤 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 배병성 | - |
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