화학증착법으로 제조한 다이아몬드막과 Si 기지에서의 응력해석에 관한 연구A study on the stress analysis of CVD diamond films on Si substrate
- Advisors
- 유진researcher; Yu, Jinresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 재료공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2000
- Identifier
- 158608/325007 / 000983285
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 2000.2, [ vii, 52 p. ]
- Keywords
고유응력; 실리콘 크리프; 화학증착법; 다이아몬드막; 영계수; Young``s modulus; Intrinsic stress; Si creep; HFCVD; Diamond film
- Appears in Collection
- MS-Theses_Master(석사논문)
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