학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2008. 8., [ x, 171 p. ]
열선화학기상증착법; 에피택셜 실리콘; 저온 에피택셜 성장; 다결정 실리콘 씨앗층; 박막트랜지스터; hot wire CVD; epitaxial Si; low-temperature epitaxial growth; poly-Si seed layer; thin film transistor
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