빔 스캐닝 방식의 공초점 헤테로다인 간섭 측정 시스템의 제안 및 광경로차 보상에 관한 연구

Abstract

수년전부터 공초점의 원리와 디퍼렌셜 헤테로다인간섭의 원리를 동시에 이용한 시스템이 만들어져 오고 있으나, 그 대부분의 연구가 스테이지 스캐닝방법으로서 시간이 많이 걸리는 단점이 있었다. 본 연구에서는 시편의 정보를 빨리 얻기위해 빔스캐닝 방식을 채택한 공초점 헤테로다인 간섭측정시스템을 제안하였다. 그러나, 스캐닝 중 시스템 구성요소에 의해 발생하는 두 일차빔 사이의 광경로차가 문제가 된다. 따라서 이에 대한 보상이 필요하며 그 보상절차를 제안하였다. 또한 파장의 4분의 1을 넘는 높이단차의 시편을 FOV의 네 곳에서 비교 측정하였으며, 그 결과를 분석하였다.