폴리머 모재위의 두 가지 증착 방식에 따른 은 박막의 기계.전기적 특성 분석

Abstract

폴리머 모재위에 은 박막을 두가지 증착방식으로 올린 후 인장 실험을 수행하였다. 첫번째 방식은 전자빔 증착으로 대표적인 전통적인 포토리소그래피 방식이다. $320\degC$에서 1시간 열처리한 Ag/PI는 22.7%에서 파괴되었다. 높은 온도의 열처리는 입자를 크게 하여 항복강도를 낮춘다. 결과적으로 파괴되는 변형이 증착만 한 Ag/PI보다 증가한다. 또한 아크릴 프라이머가 처리된 PET 필름을 사용한 Ag/PET 를 인장실험 하였다. 슬립이 많이 일어난 것을 관찰 할 수 있고, 파괴되는 변형이 증착만 한 경우에 대해서 상당히 증가하였다. 아크릴 프라이머가 처리된 기판은 박막사이의 접착력을 증가시키기 때문에 은박막과 기판과의 접착력이 인장거동에 중요한 요소라고 할 수 있다. 반면에 접착력을 증가시키기 위해 은 박막과 폴리머 기판 사이에 크롬 박막을 깔았는데 흥미롭게도 파괴되는 변형을 증가시키지 못했다. 우리 연구에서 또한 Ag/PI에서 PI 영향을 빼서 은박막의 탄성계수를 얻었다. 두번째 방식은 은 잉크를 폴리머 기판위에 스핀코팅 한 후 소성시키는 것이다. 지금 까지 Ag/PI 와 Ag/PET에 대해 겨우 몇 퍼센트 내에서 파괴가 일어났다. 은 입자 사이에 약한 결합력이 연신율에 제한을 주었을 것으로 생각한다. 그러므로 은 박막과 폴리머 기판사이에 접착력을 증가키는 것이 파괴되는 변형을 증가시키지 못했다. 전통적인 포토리소그래피를 기반으로 한 공정 방법의 실질적인 대안으로 나노 잉크를 기반으로 한 은 박막을 사용하기 위해 은 박막을 두껍게 올려 추가적인 열처리 또는 화학적 처리를 하는 것이 필요하다고 예상된다.