DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 김수현 | - |
dc.contributor.advisor | Kim, Soo-Hyun | - |
dc.contributor.author | 예상헌 | - |
dc.contributor.author | Ye, Sang-Heon | - |
dc.date.accessioned | 2011-12-14T06:39:19Z | - |
dc.date.available | 2011-12-14T06:39:19Z | - |
dc.date.issued | 2002 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=177037&flag=dissertation | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/45363 | - |
dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2002.2, [ v, 55 p. ] | - |
dc.description.abstract | 최근까지 얇은 다층박막에 대한 두께와 광학 성질들을 정확하게 측정하고자 하는 노력이 있어 왔다. 이러한 목적으로 타원편광분석기가 각광을 받고 있는 것은 측정하고자 하는 요소들을 정확하고 정밀하게 얻어 낼 수 있기 때문이다. 그러나 실제적인 사용에 있어서 여러가지 에러요인을 가지고 있는데, 그 중에서도 구성 광학 소자의 부정확한 정렬에 의한 것이다. 그러므로 측정하고자 하는 박막을 기존에 측정한 상태와 똑같은 입사각으로 유지한다면 입사각에 대한 에러요인을 줄일 수 있을 것이다. 이에 프리즘을 이용하여 각도에 대한 민감도를 증가시켜 두께가 다른 박막이 시료 홀더에 장착이 되더라도 같은 입사각을 유지하도록 연구를 하였다. | kor |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.subject | 입사각 | - |
dc.subject | 타원편광분석기 | - |
dc.subject | 정렬 | - |
dc.subject | 동일 위치 | - |
dc.subject | Same Position | - |
dc.subject | Incidence Angle | - |
dc.subject | Ellipsometer | - |
dc.subject | Alignment | - |
dc.title | 타원편광분석기의 입사각 정렬에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | Incidence angle alignment method for ellipsometer | - |
dc.type | Thesis(Master) | - |
dc.identifier.CNRN | 177037/325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
dc.identifier.uid | 020003305 | - |
dc.contributor.localauthor | 예상헌 | - |
dc.contributor.localauthor | Ye, Sang-Heon | - |
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