정밀 삼차원 측정을 위한 백색광 간섭 광학 프로브 개발Optical probe of white light interferometry for precision coordinate metrology
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김승우 | - |
| dc.contributor.advisor | Kim, Seung-Woo | - |
| dc.contributor.author | 진종한 | - |
| dc.contributor.author | Jin, Jong-Han | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T06:39:08Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T06:39:08Z | - |
| dc.date.issued | 2002 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=173927&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/45352 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2002.2, [ viii, 67 p. ] | - |
| dc.description.abstract | Large Optics의 측정 수요가 산업계에서 커지고 있다. 3차원 측정이 필요되어지며, 백색광 간섭계가 일반적인 방법이다. 하지만, 백색광 간섭계는 PZT구동한계에 따른 측정영역 한계를 가진다. Large optics의 측정은 긴 측정영역이 요구되어지며, 본 논문에서는 2종모드 레이저 간섭계를 사용하여, 그 단점을 극복하고자 한다. 백색광 간섭계와 2종모드 레이저 간섭계를 통합한 새로운 프로브를 제안하며,이는 긴 측정영역에서 프로브 끝을 직접 측정할 수 있는 장점을 같는다. 백색광 간섭계의 트리거링(triggering) 반복능은 87nm이며, 평면 미러의 형상 측정 PV값은 80.6 nm이다. | kor |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 백색광 간섭계 | - |
| dc.subject | 정밀 삼차원 측정 | - |
| dc.subject | 광학 프로브 | - |
| dc.subject | Optical Probe | - |
| dc.subject | White Light Interferometry | - |
| dc.subject | Precision Coordinate Metrology | - |
| dc.title | 정밀 삼차원 측정을 위한 백색광 간섭 광학 프로브 개발 | - |
| dc.title.alternative | Optical probe of white light interferometry for precision coordinate metrology | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 173927/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
| dc.identifier.uid | 020003543 | - |
| dc.contributor.localauthor | 진종한 | - |
| dc.contributor.localauthor | Jin, Jong-Han | - |
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.