Nd:YAG 레이저를 이용한 유리 기판상의 유기 오염물 레이저 세정Laser cleaning of organic contaminants on glass substrate using Nd:YAG laser
- Advisors
- 김상수researcher; Kim, Sang-Sooresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2007
- Identifier
- 263390/325007 / 020005077
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ xvi, 151 p. ]
- Keywords
유기 오염물; 유리 기판; Nd:YAG 레이저; 레이저 세정; 포토레지스트; photoresist; organic contaminants; glass substrate; Nd:YAG laser; Laser cleaning
- Appears in Collection
- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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