Nd:YAG 레이저를 이용한 유리 기판상의 유기 오염물 레이저 세정Laser cleaning of organic contaminants on glass substrate using Nd:YAG laser
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김상수 | - |
| dc.contributor.advisor | Kim, Sang-Soo | - |
| dc.contributor.author | 김진호 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Jin-Ho | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T05:28:00Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T05:28:00Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=263390&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/43637 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ xvi, 151 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 유기 오염물 | - |
| dc.subject | 유리 기판 | - |
| dc.subject | Nd:YAG 레이저 | - |
| dc.subject | 레이저 세정 | - |
| dc.subject | 포토레지스트 | - |
| dc.subject | photoresist | - |
| dc.subject | organic contaminants | - |
| dc.subject | glass substrate | - |
| dc.subject | Nd:YAG laser | - |
| dc.subject | Laser cleaning | - |
| dc.title | Nd:YAG 레이저를 이용한 유리 기판상의 유기 오염물 레이저 세정 | - |
| dc.title.alternative | Laser cleaning of organic contaminants on glass substrate using Nd:YAG laser | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 263390/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
| dc.identifier.uid | 020005077 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김상수 | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Sang-Soo | - |
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- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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