$SiH_4$와 $Si_2H_6$로 부터 증착된 다결정-실리콘을 이용한 Poly-SiTFT의 제작과 전기적 및 구조적 특성 분석에 대한 연구A analysis of the electrical and structural characteristics of Poly-SiTFT fabricated using Poly-Si films deposited from $SiH_4$ and $Si_2H_6$
- Advisors
- 임굉수researcher; Lim, Kwoeng-Sooresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1992
- Identifier
- 59696/325007 / 000891396
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1992.2, [ [iii], 84 p. ]
- Appears in Collection
- EE-Theses_Master(석사논문)
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