$SiH_4$와 $Si_2H_6$로 부터 증착된 다결정-실리콘을 이용한 Poly-SiTFT의 제작과 전기적 및 구조적 특성 분석에 대한 연구A analysis of the electrical and structural characteristics of Poly-SiTFT fabricated using Poly-Si films deposited from $SiH_4$ and $Si_2H_6$
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 임굉수 | - |
| dc.contributor.advisor | Lim, Kwoeng-Soo | - |
| dc.contributor.author | 이종욱 | - |
| dc.contributor.author | Lee, Jong-Wook | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T02:10:36Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T02:10:36Z | - |
| dc.date.issued | 1992 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=59696&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/38890 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1992.2, [ [iii], 84 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.title | $SiH_4$와 $Si_2H_6$로 부터 증착된 다결정-실리콘을 이용한 Poly-SiTFT의 제작과 전기적 및 구조적 특성 분석에 대한 연구 | - |
| dc.title.alternative | A analysis of the electrical and structural characteristics of Poly-SiTFT fabricated using Poly-Si films deposited from $SiH_4$ and $Si_2H_6$ | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 59696/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000891396 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이종욱 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Jong-Wook | - |
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- EE-Theses_Master(석사논문)
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