학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1996.2, [ iv, 85 p. ]
다결정 실리콘; 얇은 게이트 산화막; 질화 산화막; ECR N2O-플라즈마; 다결정 산화막; Polyoxide; Polysilicon TFT; Thin gate oxide; Oxynitride; ECR N2O-Plasma
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