스위치 소자 및 그 제조방법

Abstract

실시예는 스위치 소자에 관한 것이다.실시예에 따른 스위치 소자는, 전기-기계적 스위치 소자로, 기판, 기판 상에 고정된 지지층 및 탄성력을 가지며 기판과 이격된 탄성도전층을 포함하는 구동전극부, 및 탄성도전층과 이격되도록 기판 상에 배치된 고정전극부를 포함하고, 구동전극부 및 고정전극부는 일 함수가 서로 같은 반도체 물질을 포함하고, 상기 고정전극부를 통해 구동전압이 인가될 경우, 상기 구동전극부 및 상기 고정전극부 간의 정전인력에 의해 상기 탄성도전층 및 상기 고정전극부가 전기-기계적으로 접촉하는 스위치 온 상태가 되고, 상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 상기 스위치 온 상태에서 순방향 전압 또는 역방향 전압에서 전류가 도통하는 저항성 전도(ohmic conduction) 동작을 한다.