학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 화학과, 2010.2, [ xii, 93 p. ]
self hard mask; silicon block copolymer; functionalized block copolymer; silicon oxide; high aspect ratio nanohole; 높은 종횡비를 가지는 나노홀; 자체 마스크; 실리콘 블록 공중합체; 기능성 블록 공중합체; 유무기복합체
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