전이금속 디칼코게나이드 도핑방법 및 이에 의하여 도핑된 전이금속 디칼코게나이드Method for doping transition metal dichalcogenide and transition metal dichalcogenide doped thereby
도핑되는 도펀트 가스를 전이금속 디칼코게나이드가 구비된 챔버에 주입하는 단계; 상기 주입된 챔버에 전기적 에너지를 인가하여 도펀트 가스를 플라즈마화하는 단계; 및 상기 플라즈마화된 도펀트 가스로 상기 전이금속 디칼코게나이드를 도핑하는 단계를 포함하는 전이금속 디칼코게나이드 도핑방법이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2022-03-15
- Application Number
- 10-2022-0031925
- Registration Date
- 2023-10-24
- Registration Number
- 10-2594752-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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