전이금속 디칼코게나이드 도핑방법 및 이에 의하여 도핑된 전이금속 디칼코게나이드Method for doping transition metal dichalcogenide and transition metal dichalcogenide doped thereby

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dc.contributor.author최성율ko
dc.contributor.author홍웅기ko
dc.date.accessioned2023-11-07T08:01:13Z-
dc.date.available2023-11-07T08:01:13Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/314378-
dc.description.abstract도핑되는 도펀트 가스를 전이금속 디칼코게나이드가 구비된 챔버에 주입하는 단계; 상기 주입된 챔버에 전기적 에너지를 인가하여 도펀트 가스를 플라즈마화하는 단계; 및 상기 플라즈마화된 도펀트 가스로 상기 전이금속 디칼코게나이드를 도핑하는 단계를 포함하는 전이금속 디칼코게나이드 도핑방법이 제공된다.-
dc.title전이금속 디칼코게나이드 도핑방법 및 이에 의하여 도핑된 전이금속 디칼코게나이드-
dc.title.alternativeMethod for doping transition metal dichalcogenide and transition metal dichalcogenide doped thereby-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor최성율-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2022-0031925-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2594752-0000-
dc.date.application2022-03-15-
dc.date.registration2023-10-24-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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