DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 이봉재 | - |
dc.contributor.advisor | Lee, Bong Jae | - |
dc.contributor.author | 남정민 | - |
dc.date.accessioned | 2023-06-22T19:30:45Z | - |
dc.date.available | 2023-06-22T19:30:45Z | - |
dc.date.issued | 2023 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=1032255&flag=dissertation | en_US |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/308103 | - |
dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 2023.2,[iii, 36 p. :] | - |
dc.description.abstract | 최근 반도체 소자가 소형화/집적화 됨에 따라 국소 발열에 의한 성능저하 문제가 대두되고 있다. 이에 따라 효과적인 열 솔루션을 위해서는 소자 단위의 정밀한 온도 측정이 필수적이다. 따라서 본 학위 논문에서는 고해상도 적외선 온도 측정법을 이용하여 마이크로 디바이스의 온도 분포를 측정하였다. 고해상도 적외선 온도 측정법은 상용 적외선 카메라와 반사 대물렌즈를 사용하여 제작한 적외선 현미경으로, 측정 파장에 관계없이 온도를 측정할 수 있고 6.7 μm의 픽셀 분해능, 10.2 μm의 공간 분해능을 가진다. 자체 제작한 마이크로 스케일 흑체를 통해 외부 광학계를 사용함으로써 발생하는 에너지 손실 및 배경 복사를 보정하였다. 히터가 내장된 마이크로 캔틸레버를 모사한 마이크로 디바이스의 온도 분포를 적외선 현미경으로 측정 후, differential method, FFT method 및 COMSOL 시뮬레이션으로 온도를 산출하여 비교하였다. 결과적으로 FFT method와 COMSOL 시뮬레이션 결과는 differential method와 비교하였을 때, 길이 방향으로는 각각 최대 4oC, 8oC의 차이, 폭 방향으로는 최대 2oC, 8oC의 차이로 이차원 온도 분포를 측정하는 것을 확인하였다. 따라서 고해상도 적외선 현미경은 마이크로 스케일에서의 온도 분포 측정이 가능함을 증명하였다. | - |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.subject | 적외선 온도 측정법▼a적외선 현미경▼a배경 복사▼a에너지 손실▼aMEMS 디바이스▼a온도 분포 | - |
dc.subject | Infrared thermometry▼aInfrared microscope▼aBackground radiation▼aEnergy loss▼aMEMS device▼aTemperature distribution | - |
dc.title | 적외선 카메라를 이용한 마이크로 디바이스 온도 분포 측정 | - |
dc.title.alternative | Measurement of the temperature distribution of a microdevice using an infrared camera | - |
dc.type | Thesis(Master) | - |
dc.identifier.CNRN | 325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 :기계공학과, | - |
dc.contributor.alternativeauthor | Nam, Jeongmin | - |
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