모놀리식 집적에 따른 이종 접합 구조의 이미지 센서 및 그의 제조 방법IMAGE SENSOR HAVING HETERO-JUNCTION STRUCTURE ACCORDING TO MONOLITHIC INTEGRATION AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
다양한 실시예들은 모놀리식 집적에 따른 이종 접합 구조의 이미지 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 회로 소자, 및 지지 기판 및 지지 기판 상에 적층된 활성층을 포함하는 광다이오드 소자를 준비하고, 지지 기판과 활성층이 반전되도록 회전시켜, 회로 소자 상에 활성층을 접합시키고, 활성층으로부터 지지 기판을 제거함으로써, 이미지 센서가 제조될 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-12-11
- Application Number
- 10-2020-0172969
- Registration Date
- 2023-03-23
- Registration Number
- 10-2514796-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)MS-Patent(특허)
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