3軸直線運動ステージ

Abstract

【要約】 【課題】 本発明は、所定の試片を支持し、その試片を直角座標系のX軸、Y軸、Z軸直線方向へ互いに独立的で、精密に移動させるX軸、Y軸、Z軸ステージなどを含む3軸直線運動ステージ及びそれを用いた試片検査装置に関する。 【解決手段】 3軸直線運動ステージは所定の広さと厚さとを有する底板40と、上記底板40の基準領域RRに固定され、上記基準領域RRからX軸方向に位置する第1のX領域RX1をX軸方向へ直線運動させるX軸ステージ10と、上記第1のX領域RX1内に位置し、上記第1のX領域RX1内の第2のX領域RX2に固定され、上記第2のX領域RX2からY軸方向に位置する第1のY領域RY1をY軸方向へのみ直線運動させるY軸ステージ20と、上記第1のY領域RY1内の第2のY領域RY2に固定され、所定の試片を支持し、上記試片をZ軸方向へ直線運動させるZ軸ステージ30とを含むことを特徴とする。 【選択図】 図1