3軸直線運動ステージ3축 직선 운동 스테이지
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 권대갑 | ko |
| dc.contributor.author | 심종엽 | ko |
| dc.contributor.author | 김동민 | ko |
| dc.contributor.author | 김기현 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-12-20T03:07:03Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-20T03:07:03Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/303284 | - |
| dc.description.abstract | 【要約】 【課題】 本発明は、所定の試片を支持し、その試片を直角座標系のX軸、Y軸、Z軸直線方向へ互いに独立的で、精密に移動させるX軸、Y軸、Z軸ステージなどを含む3軸直線運動ステージ及びそれを用いた試片検査装置に関する。 【解決手段】 3軸直線運動ステージは所定の広さと厚さとを有する底板40と、上記底板40の基準領域RRに固定され、上記基準領域RRからX軸方向に位置する第1のX領域RX1をX軸方向へ直線運動させるX軸ステージ10と、上記第1のX領域RX1内に位置し、上記第1のX領域RX1内の第2のX領域RX2に固定され、上記第2のX領域RX2からY軸方向に位置する第1のY領域RY1をY軸方向へのみ直線運動させるY軸ステージ20と、上記第1のY領域RY1内の第2のY領域RY2に固定され、所定の試片を支持し、上記試片をZ軸方向へ直線運動させるZ軸ステージ30とを含むことを特徴とする。 【選択図】 図1 | - |
| dc.title | 3軸直線運動ステージ | - |
| dc.title.alternative | 3축 직선 운동 스테이지 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 심종엽 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김기현 | - |
| dc.contributor.assignee | KAIST | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 2003403122 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 3944479 | - |
| dc.date.application | 2003-12-02 | - |
| dc.date.registration | 2007-04-13 | - |
| dc.publisher.country | JA | - |
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