시편 제작 장치

Abstract

본 발명은 시편 제작 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 본 발명에 따른 시편 제작 장치는 시편 제작 시 실시간으로 시편의 두께를 모니터링 할 수 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 시편 제작 장치는 이온 빔으로 시편을 밀링하는 이온 밀링부, 상기 시편의 두께를 측정하는 광학 측정부 및 상기 이온 밀링부와 상기 광학 측정부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이온 밀링, 시편, 리플렉토메터, 엘립소메터