시편 제작 장치Specimen Preparation Equipment
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 손우식 | ko |
| dc.contributor.author | 양준모 | ko |
| dc.contributor.author | 유정호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-12-10T05:01:28Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-10T05:01:28Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/302529 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 시편 제작 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 본 발명에 따른 시편 제작 장치는 시편 제작 시 실시간으로 시편의 두께를 모니터링 할 수 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 시편 제작 장치는 이온 빔으로 시편을 밀링하는 이온 밀링부, 상기 시편의 두께를 측정하는 광학 측정부 및 상기 이온 밀링부와 상기 광학 측정부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이온 밀링, 시편, 리플렉토메터, 엘립소메터 | - |
| dc.title | 시편 제작 장치 | - |
| dc.title.alternative | Specimen Preparation Equipment | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 양준모 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유정호 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2008-0091406 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0975851-0000 | - |
| dc.date.application | 2008-09-18 | - |
| dc.date.registration | 2010-08-09 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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