무선주파수 소자 및 그 제조방법radio frequency device and method of fabricating the same
무선주파수 소자 및 그 제조방법이 제공된다. 일 실시예에 따른 무선주파수 소자에 따르면, 제 1 영역 및 제 2 영역을 포함하는 기판이 제공된다. 반도체층은 상기 기판의 제 1 영역 상에 제공된다. 매몰 절연층은 상기 기판 및 상기 반도체층 사이에 제공된다. 복수의 인버젼 방지층들은 상기 기판의 제 2 영역 상에 제공된다. 가드링 콘택 플러그는 상기 복수의 인버젼 방지층들 중 적어도 하나를 관통하여 상기 기판에 연결된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2010-09-10
- Application Number
- 10-2010-0088688
- Registration Date
- 2012-03-22
- Registration Number
- 10-1131414-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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