무선주파수 소자 및 그 제조방법radio frequency device and method of fabricating the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김한흥 | ko |
| dc.contributor.author | 임부택 | ko |
| dc.contributor.author | 이기성 | ko |
| dc.contributor.author | 유동은 | ko |
| dc.contributor.author | 이동욱 | ko |
| dc.contributor.author | 강민호 | ko |
| dc.contributor.author | 이병주 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-22T01:02:27Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-22T01:02:27Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/300393 | - |
| dc.description.abstract | 무선주파수 소자 및 그 제조방법이 제공된다. 일 실시예에 따른 무선주파수 소자에 따르면, 제 1 영역 및 제 2 영역을 포함하는 기판이 제공된다. 반도체층은 상기 기판의 제 1 영역 상에 제공된다. 매몰 절연층은 상기 기판 및 상기 반도체층 사이에 제공된다. 복수의 인버젼 방지층들은 상기 기판의 제 2 영역 상에 제공된다. 가드링 콘택 플러그는 상기 복수의 인버젼 방지층들 중 적어도 하나를 관통하여 상기 기판에 연결된다. | - |
| dc.title | 무선주파수 소자 및 그 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | radio frequency device and method of fabricating the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임부택 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이기성 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유동은 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이동욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강민호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이병주 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2010-0088688 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1131414-0000 | - |
| dc.date.application | 2010-09-10 | - |
| dc.date.registration | 2012-03-22 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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