반도체 소자 및 그 제조방법semiconductor device and method of fabricating the same
본 발명은 무선주파수 손실을 감소시키면서 바디 바이어스를 인가할 수 있는 무선주파수 소자 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.본 발명의 일측면에 의하면, 일면의 하부로 매립된 인버젼 방지층을 포함하는 반도체 기판을 제공하는 단계, 상기 인버젼 방지층의 일부를 리세스 시킨 후 상기 리세스된 공간에 제 1 절연층을 형성하는 단계, 상기 반도체 기판 내부의 상기 제 1 절연층 사이 영역에 제 2 절연층을 형성하는 단계 및 상기 제 1 또는 제 2 절연층 상부에 능동소자를 형성하는 단계를 포함하는 무선주파수 소자 제조방법이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2010-10-01
- Application Number
- 10-2010-0096008
- Registration Date
- 2012-04-19
- Registration Number
- 10-1140205-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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