광 위상 배열 수신기 및 그 제조 방법

Abstract

자유 공간 상 방향성을 갖는 고속 변조 입사빔을 수신하여 검출하는 광 위상 배열 수신기 및 그 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따르면, 광 위상 배열 수신기는, 광 집적화 칩-상기 광 집적화 칩은, 절연층을 포함하는 기판; 상기 기판의 상부에 배치된 채 복수의 불순물 영역들을 포함하는 반도체층; 상기 반도체층의 상부에 순차적으로 적층되는 제1 절연층, 저항층 및 제2 절연층; 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층을 관통하여 상기 반도체층에 접지하거나 상기 제2 절연층을 관통하여 상기 저항층에 접지하는 복수의 개구들; 및 상기 제2 절연층 및 상기 복수의 개구들 각각의 상부에 구비되는 금속층을 포함함- 상에 구현되는 것을 특징으로 한다.