신축성 기판을 포함하는 박막형 신축성 전자소자 및 그의 제조방법THIN-FILM STRETCHABLE ELECTRONICS CONTAINING STRETCHABLE SUBSTARTE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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본 발명은 신축성 기판을 포함하는 박막형 신축성 전자소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 신축성 기판의 표면처리에 의해 표면처리된 기판과 인접하는 층간의 접합힘(Work of adhesion, Wa, mJ/㎡)과 표면 거칠기를 최적화하여, 인장 변형상태 조건에서도 각 소자 구성층과 상호작용하여 층간 접합력을 향상시켜 소자 구성층이 손상되지 않도록 높은 기계적 신축성을 구현한 박막형 신축성 전자소자를 제공하고, 상기 박막형 신축성 전자소자는 웨어러블 전자장치 적용에 유용하다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2021-11-01
Application Number
10-2021-0147803
Registration Date
2022-03-23
Registration Number
10-2379648-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/292654
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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