스핀 코터 장치 및 디스펜서 노즐 장치를 포함하는 스핀 코팅 시스템SPIN COASTING SYSTEM INCLUDING SPIN COATER AND DISPENSER NOZZLE
본 발명은 가열 또는 냉각된 스핀 코터 척 상에 가열 또는 냉각된 고분자 용액을 스핀 코팅하는 스핀 코터 장치 및 디스펜서 노즐 장치를 포함하는 스핀 코팅 시스템에 관한 것으로, 디스펜서 노즐 장치 및 스핀 코터 장치를 동시에 독립적으로 온도 조절함으로써, 효율적인 나노 패터닝이 가능하면서 실험의 재현성을 향상시킨다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-10-25
- Application Number
- 10-2018-0127887
- Registration Date
- 2021-11-29
- Registration Number
- 10-2333906-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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