스핀 코터 장치 및 디스펜서 노즐 장치를 포함하는 스핀 코팅 시스템SPIN COASTING SYSTEM INCLUDING SPIN COATER AND DISPENSER NOZZLE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정연식 | ko |
| dc.contributor.author | 이정혜 | ko |
| dc.contributor.author | 김건영 | ko |
| dc.contributor.author | 임훈희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-12-16T06:55:35Z | - |
| dc.date.available | 2021-12-16T06:55:35Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/290747 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 가열 또는 냉각된 스핀 코터 척 상에 가열 또는 냉각된 고분자 용액을 스핀 코팅하는 스핀 코터 장치 및 디스펜서 노즐 장치를 포함하는 스핀 코팅 시스템에 관한 것으로, 디스펜서 노즐 장치 및 스핀 코터 장치를 동시에 독립적으로 온도 조절함으로써, 효율적인 나노 패터닝이 가능하면서 실험의 재현성을 향상시킨다. | - |
| dc.title | 스핀 코터 장치 및 디스펜서 노즐 장치를 포함하는 스핀 코팅 시스템 | - |
| dc.title.alternative | SPIN COASTING SYSTEM INCLUDING SPIN COATER AND DISPENSER NOZZLE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 정연식 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이정혜 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김건영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임훈희 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0127887 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2333906-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-10-25 | - |
| dc.date.registration | 2021-11-29 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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