테라헤르츠 신호를 이용한 샘플의 두께 측정 방법

Abstract

본 발명에서 제1 기준 신호는 수분과 같은 극성 분자가 존재하지 않는 기준 공기 중에서 단지 1회만 획득하면 충분하고, 제2 기준 신호 및 샘플 신호는 수분과 같은 극성 분자가 존재하는 일반 공기 중에서 획득되는 신호이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 샘플의 두께 측정 시마다 반드시 건조 공기나 질소 공기를 조성해야만 하는 종래 방법에 비해 샘플의 두께 측정이 간편하고, 샘플 두께의 측정 시간 또한 크게 단축시킬 수 있는 이점이 있다.