다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법ULTRASONIC TRANSDUCER WITH MULTI-LAYERD MEMBRANE, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 초음파 트랜스듀서는 기판과, 상기 기판 위에 형성되는 캐비티(cavity)와, 상기 캐비티를 덮고 제1 레이어 및 제2 레이어의 다층 구조로 형성된 멤브레인을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-01-31
- Application Number
- 10-2020-0012026
- Registration Date
- 2021-08-31
- Registration Number
- 10-2298213-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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