다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법ULTRASONIC TRANSDUCER WITH MULTI-LAYERD MEMBRANE, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이현주 | ko |
| dc.contributor.author | 이상목 | ko |
| dc.contributor.author | 강병범 | ko |
| dc.contributor.author | 윤성원 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-09-05T23:50:24Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-05T23:50:24Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/287627 | - |
| dc.description.abstract | 다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 초음파 트랜스듀서는 기판과, 상기 기판 위에 형성되는 캐비티(cavity)와, 상기 캐비티를 덮고 제1 레이어 및 제2 레이어의 다층 구조로 형성된 멤브레인을 포함한다. | - |
| dc.title | 다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법 | - |
| dc.title.alternative | ULTRASONIC TRANSDUCER WITH MULTI-LAYERD MEMBRANE, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이현주 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이상목 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강병범 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 윤성원 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2020-0012026 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2298213-0000 | - |
| dc.date.application | 2020-01-31 | - |
| dc.date.registration | 2021-08-31 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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