절대거리 측정을 위한 회절 광신호 주사장치Diffractive beam scanner for absolute distance measurement

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dc.contributor.advisor김승우-
dc.contributor.advisorKim, Seung-Woo-
dc.contributor.author장재영-
dc.date.accessioned2021-05-13T19:31:40Z-
dc.date.available2021-05-13T19:31:40Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.urihttp://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=910936&flag=dissertationen_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/284630-
dc.description학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 2020.2,[v, 50 p. :]-
dc.description.abstract정밀 레이저 가공을 위한 레이저 빔 스캐닝 및 정밀 레이저 측정을 위한 타겟 추적 시스템은 광경로를 변화시키기 위해 정밀 빔 주사 장치가 필요하다. 기존의 빔 주사는 크게 회절광학소자와 회전 거울 기반의 레이저 스캐너로 구현되어 왔다. 회절광학소자는 입사되는 광신호를 특정 각도로 분기할 수 있어 여러 대상으로 빔을 분기/주사 할 수 있지만, 소자 내의 격자 패턴이 고정되어 있어 빔의 분할 각도를 자유롭게 조절할 수 없다. 회전 거울 기반의 레이저 스캐너는 거울의 회전 및 반사를 이용하여 빔을 주사하는 장치로, 기계적 구동에 의해 매우 넓은 범위를 주사 시킬 수 있으나 레이저가 반사되는 지점과 거울의 회전 중심이 일치하지 않아 빔 포인팅 에러가 발생된다. 본 연구에서는 기존의 빔 주사 장치의 단점을 극복하기 위해 디지털 마이크로미러 디바이스(Digital micro-mirror device, DMD)를 이용하여 회절 기반의 광신호 주사 장치를 구현하였다. DMD는 마이크로 크기의 거울이 수 십만 개로 배열되어 있고 각 거울의 on-off 상태 전환이 가능하며, 거울의 패턴을 조절하여 회절 격자를 능동적으로 생성해 빔을 원하는 각도로 주사할 수 있다. 빔을 주사 시키기 위해 픽셀화 이진회절격자(Pixelated binary diffraction grating)방식을 이용하였고, 빔 주사 특성을 분석하기 위해 시뮬레이션을 수행하였고, 이를 실험적으로 검증하였다. 또한 절대거리 측정에 적용함으로써 응용 가능성을 보였다.-
dc.languagekor-
dc.publisher한국과학기술원-
dc.subject회절▼a광신호 주사▼a픽셀화 격자▼a절대거리 측정-
dc.subjectDiffraction▼aBeam scanning▼aPixelated grating▼aAbsolute distance measurement-
dc.title절대거리 측정을 위한 회절 광신호 주사장치-
dc.title.alternativeDiffractive beam scanner for absolute distance measurement-
dc.typeThesis(Master)-
dc.identifier.CNRN325007-
dc.description.department한국과학기술원 :기계공학과,-
dc.contributor.alternativeauthorJang, Jaeyoung-
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ME-Theses_Master(석사논문)
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