금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치Method of forming metal oxide thin film and metal oxide thin film printing apparatus
본 발명은 기상 제트 프린팅을 이용한 금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치에 관한 것으로, 상기 금속 산화물 박막의 형성 방법은, 제1 금속 산화물 전구체를 기화시키는 것; 기화된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 제1 캐리어 가스를 이용하여 혼합 챔버로 유입시키는 것; 유입된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 상기 혼합 챔버의 하단에 연결된 마이크로 노즐을 통해 기판 상으로 분사하여, 상기 기판 상에 제1 금속 산화물 전구체층을 형성하는 것; 및 상기 제1 금속 산화물 전구체층에 전자기파를 조사하여 제1 금속 산화물층을 형성하는 것을 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국전자통신연구원,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2014-06-25
- Application Number
- 10-2014-0078173
- Registration Date
- 2021-03-24
- Registration Number
- 10-2233750-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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