금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치Method of forming metal oxide thin film and metal oxide thin film printing apparatus
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 유승협 | ko |
| dc.contributor.author | 최정민 | ko |
| dc.contributor.author | 박종혁 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-03-30T00:50:44Z | - |
| dc.date.available | 2021-03-30T00:50:44Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/282169 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 기상 제트 프린팅을 이용한 금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치에 관한 것으로, 상기 금속 산화물 박막의 형성 방법은, 제1 금속 산화물 전구체를 기화시키는 것; 기화된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 제1 캐리어 가스를 이용하여 혼합 챔버로 유입시키는 것; 유입된 상기 제1 금속 산화물 전구체를 상기 혼합 챔버의 하단에 연결된 마이크로 노즐을 통해 기판 상으로 분사하여, 상기 기판 상에 제1 금속 산화물 전구체층을 형성하는 것; 및 상기 제1 금속 산화물 전구체층에 전자기파를 조사하여 제1 금속 산화물층을 형성하는 것을 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 금속 산화물 박막의 형성 방법 및 금속 산화물 박막 프린팅 장치 | - |
| dc.title.alternative | Method of forming metal oxide thin film and metal oxide thin film printing apparatus | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 유승협 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최정민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박종혁 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국전자통신연구원,한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0078173 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2233750-0000 | - |
| dc.date.application | 2014-06-25 | - |
| dc.date.registration | 2021-03-24 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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