광-마이크로파 위상 검출을 이용한 초고속, 나노미터 분해능의 거리 측정 기술 및 센서 = Ultrafast, nanometer-resolution displacement measurement method and sensors using optical-to-microwave phase detection

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레이저 기반의 거리 측정 기술은 다양한 분야에서 중요한 핵심 기술로써 이용된다. 이에 따라 본 논문은 이러한 거리 측정 기술의 성능 향상을 위한 기존의 방법들에 대한 분석과 함께, 기존 기술들의 한계에 대한 돌파구로써 새로운 거리 측정 기술을 고안하였다. 이 과정에서 광검출기를 이용한 포토디텍션 과정에서 생기는 초과 위상 잡음을 매우 낮은 수준으로 활용할 수 있는 방법을 발견하였고 본 논문은 거리 측정 기술에 이를 적극 활용하였다. 본 논문의 거리 측정 기술은 분해능, 측정 가능 거리, 측정 속도 모든 방면에서 기존의 기술을 크게 능가했고, 이러한 거리 측정 성능과 잔류/초과 위상 잡음 성능 사이의 관계를 분석하였다. 나아가 이를 다양한 물리량 센서에 접목하여 성능 검증을 하였고 높은 수준의 성능을 확인했다. 본 연구의 결과물은 많은 부분에서 기존의 거리 측정 기술 및 센서들을 우수하게 대체할 수 있을 것으로 기대된다.
Advisors
김정원researcherKim, Jungwonresearcher
Description
한국과학기술원 :기계공학과,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2019
Identifier
325007
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 2019.2,[iii, 48 p. :]

Keywords

레이저 기반의 거리 측정▼a비행시간▼a잔류/초과 위사 잡음▼a적분 시간-분해능▼a센서; laser-based displacement measurements▼atime-of-flight▼aresidual/excess phase noise▼aaveraging time-resolutions▼asensors

URI
http://hdl.handle.net/10203/265837
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=843017&flag=dissertation
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ME-Theses_Master(석사논문)
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