그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자METHOD FOR MANUFACTURING GRAPHENE NANORIBBON, GRAPHENE NANORIBBON, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자에 관한 것으로, 기판 상에 그래파이트화 금속 촉매 박막을 형성하는 단계; 상기 그래파이트화 금속 촉매 박막 상에 반응억제층을 형성하는 단계; 및 탄소 공급원을 공급하여, 그래핀 나노 리본을 성장시키는 단계;를 포함하는, 그래핀 나노 리본의 제조방법과 신규한 형태의 그래핀 나노 리본, 상기 그래핀 나노 리본의 제조방법을 이용한 반도체 소자의 제조 방법, 및 소자 특성이 향상된 반도체 소자를 제공할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원,한국항공대학교산학협력단
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-12-19
- Application Date
- 2017-01-26
- Application Number
- 10-2017-0012817
- Registration Date
- 2018-12-19
- Registration Number
- 10-1932761-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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