그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자METHOD FOR MANUFACTURING GRAPHENE NANORIBBON, GRAPHENE NANORIBBON, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 조병진 | ko |
| dc.contributor.author | 황완식 | ko |
| dc.contributor.author | 홍슬기 | ko |
| dc.contributor.author | 봉재훈 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T14:44:53Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T14:44:53Z | - |
| dc.date.issued | 2018-12-19 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/254379 | - |
| dc.description.abstract | 그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자에 관한 것으로, 기판 상에 그래파이트화 금속 촉매 박막을 형성하는 단계; 상기 그래파이트화 금속 촉매 박막 상에 반응억제층을 형성하는 단계; 및 탄소 공급원을 공급하여, 그래핀 나노 리본을 성장시키는 단계;를 포함하는, 그래핀 나노 리본의 제조방법과 신규한 형태의 그래핀 나노 리본, 상기 그래핀 나노 리본의 제조방법을 이용한 반도체 소자의 제조 방법, 및 소자 특성이 향상된 반도체 소자를 제공할 수 있다. | - |
| dc.title | 그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR MANUFACTURING GRAPHENE NANORIBBON, GRAPHENE NANORIBBON, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 조병진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황완식 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원,한국항공대학교산학협력단 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0012817 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1932761-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-01-26 | - |
| dc.date.registration | 2018-12-19 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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