Browse "PH-Theses_Ph.D.(박사논문)" by Author Chang, Hong-Young

Showing results 1 to 29 of 29

1
A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link

Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011

2
Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link

Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999

3
Control of plasma parameters using grid voltage biasing and inert gas mixing in inductively coupled plasma = 유도결합 플라즈마에서 그리드 및 비활성 기체 혼합을 이용한 플라즈마 변수 제어link

Bai, Keun-Hee; 배근희; et al, 한국과학기술원, 2002

4
Development of gyrokinetic simulation code for the study of electrostatic drift wave turbulence = 난류성 정전기 표류파 연구를 위한 전산모사 코드 개발link

Kwon, Jae-Min; 권재민; et al, 한국과학기술원, 2003

5
Investigation of the photodissociation effect by UV illumination in the BTMSM/Ar discharge = BTMSM/Ar 플라즈마에서 자외선조사에 의한 광분해 효과 연구link

Jung, Won-Bong; 정원봉; et al, 한국과학기술원, 2007

6
KAIST-토카막 플라즈마의 성능향상과 플라즈마 위치 측정에 관한 연구 = Study on improving KAIST-tokamak plasma performance and plasma position measurementlink

권기청; Kwon, Gi-Chung; 최덕인; 장홍영; 최원호; Choi, Duk-In; et al, 한국과학기술원, 2000

7
KAIST-토카막의 정상상태 플라즈마 발생 및 운전과 제어에 대한 연구 = On the KAIST-Tokamak operation and control for steady state plasmalink

서성헌; Seo, Seong-Heon; et al, 한국과학기술원, 1999

8
KSTAR 초기 플라즈마 진단을 위한 ECE 헤테로다인 수신기 설계 및 제작 = Design and fabrication of an ECE heterodyne radiometer for KSTAR 1st plamsalink

정승호; Jeong, Seung-Ho; et al, 한국과학기술원, 2003

9
Langmuir 프로브 시스템 개발과 Pulsed Magnetron 플라즈마의 시간적 특성에 관한 연구 = Developement of Langmuir probe system and study on the temporal behavior of plasma characteristics in pulsed magnetron plasmalink

이상원; Lee, Sang-Won; et al, 한국과학기술원, 2005

10
LIF를 이용한 MICP에서의 이온가열 메카니즘 연구 = Study on ion heating mechanism in magnetized ICP with LIFlink

전상현; Jun, Sang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2006

11
On the behavior of metastable argon atom density in high density Ar discharge = 고밀도 아르곤 플라즈마에서 준안정 아르곤 중성 밀도 거동에 관한 연구link

Park, Min; 박민; et al, 한국과학기술원, 2011

12
On the characteristics of multiple inductively coupled plasma sources using two coils = 2개의 코일을 이용한 다중 유도 결합 플라즈마 발생 장치의 특성에 관한 연구link

Lee, Jin-won; 이진원; et al, 한국과학기술원, 2016

13
On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link

Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003

14
Parallelizability of helicon and inductively coupled plasma sources for large-area processing = 대면적 공정을 위한 헬리콘과 유도결합 플라즈마 소스의 평행화 연구link

An, Sang-Hyuk; 안상혁; et al, 한국과학기술원, 2011

15
Studies of electron heating and transport in a low pressure Inductively coupled plasma = 저압 유도 결합 플라즈마에서의 전자 가열 수송 연구link

Chung, Chin-Wook; 정진욱; et al, 한국과학기술원, 2001

16
Studies on characteristics of neutral and metastable neutral atom in high density argon plasmas by using laser induced fluorescence and scattering = 레이저 유도 형광 및 산란을 이용한 고밀도 아르곤 플라즈마에서의 중성종 및 준안정 중성종의 특성 연구link

Seo, Byong-Hoon; 서병훈; et al, 한국과학기술원, 2014

17
Studies on the effect of driving frequency in capacitively coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 구동 주파수의 효과에 관한 연구link

Ahn, Seung-Kyu; 안승규; et al, 한국과학기술원, 2008

18
Study on electron heating and E-H mode transition in planar inductively coupled plasma = 평판형 유도결합 플라즈마에서 전자 가열 및 E-H 모드 전이에 관한 연구link

Seo, Sang-Hun; 서상훈; et al, 한국과학기술원, 2000

19
(The) study of the characteristics of the dual frequency capacitively coupled plasma(DFCCP) = 이중 주파수 용량 결합 플라즈마의 특성 연구link

Jeon, Bu-Il; 전부일; et al, 한국과학기술원, 2004

20
고밀도 자화 플라즈마에서의 자발적 진동 및 구조형성 현상에 관한 연구 = Phenomena of self-oscillation and structure formation in high density magnetized plasmalink

허승회; Huh, Song-Whe; et al, 한국과학기술원, 2005

21
그리드전압을 이용한 전자온도제어 및 $CF_4/Ar$ 플라즈마에의 응용에 관한 연구 = Study on controlling electron temperature with grid bias and Its application to $CF_4/Ar$ plasmalink

홍정인; Hong, Jung-In; et al, 한국과학기술원, 1999

22
박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink

이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013

23
병렬 공명 안테나를 이용한 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 = Development of an inductively coupled plasma source using a parallel resonance antenna and study on the plasma parameter controllink

이동석; Lee, Dong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2005

24
신공정을 위한 플라즈마 소스의 특성연구와 제어변수의 개발 = On the characteristics of the plasma sources for the new processeslink

엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2004

25
전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성 및 중성종에 관한 연구 = Electron cyclotron resonance plasma characteristics and neutral density depletionlink

이평우; Lee, Pyung-Woo; et al, 한국과학기술원, 1997

26
전자빔으로 생성되는 플라즈마의 특성과 전자빔 플라즈마를 이용하여 공정용 가스의 이온 및 활성종 제어에 관한 연구 = Study on the characteristics of electron beam generated plasma and the control of ions and radicals in electron beam generated plasmalink

채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2010

27
컷오프 탐침을 이용한 플라즈마 내에서의 웨이브 투과특성에 관한 연구 = On the wave transmission characteristics in plasma with cutoff probelink

나병근; Na, Byung-Keun; et al, 한국과학기술원, 2012

28
펄스 유도결합플라즈마에서 전하입자의 거동에 관한 연구 = Study on the behavior of charged particles in a pulsed inductively coupled plasmalink

이정범; Lee, Jeong-Beom; et al, 한국과학기술원, 2010

29
헬리콘파 플라즈마 발생 및 특성 연구 = Study of helicon wave plasma production and its characteristicslink

김정형; Kim, Jung-Hyung; et al, 한국과학기술원, 1996

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