학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2001.8, [ vi, 100 p. ]
nonloca kinetics; electron energy distribution function (EEDF); Inductively coupled plasma; electron heating; heating mechanism; 비국부적 가열; 가열 메카니즘; 전자 가열; 전자에너지 분포 함수; 유도 결합 플라즈마
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