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Scheduling of a dual-armed cluster tool with two independently working robot arms = 독립적으로 움직이는 두 로봇 팔을 갖는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링link Tonke, Daniel; Tonke, H.D.; et al, 한국과학기술원, 2010 |
챔버 클리닝이 요구되는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 규칙. = Scheduling rules for dual-armed cluster tools with cleaning processes.link 이정수; Lee, Jung-Soo; et al, 한국과학기술원, 2008 |
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