학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 2008.2, [ vi, 60 p. ]
Dual armed cluster tools; Cleaning Process; Petri Net; Scheduling Rules; 양팔 클러스터 장비; 클리닝 작업; 페트리넷; 스케줄링 규칙; Dual armed cluster tools; Cleaning Process; Petri Net; Scheduling Rules; 양팔 클러스터 장비; 클리닝 작업; 페트리넷; 스케줄링 규칙
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