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Six degrees-of-freedom dual-servo stage using magnetic levitation technology = 자기 부상 기술을 이용한 6자유도 이중서보 스테이지link Choi, Young-Man; 최영만; et al, 한국과학기술원, 2008 |
초정밀 회전 오차 보상형 공기 베어링 스테이지의 설계 및 오차 보정에 관한 연구 = Design and error calibration of precision air bearing stage with yaw error compensationlink 김경천; Kim, Kyoung-Chon; et al, 한국과학기술원, 2011 |
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