초정밀 회전 오차 보상형 공기 베어링 스테이지의 설계 및 오차 보정에 관한 연구Design and error calibration of precision air bearing stage with yaw error compensation
- Advisors
- 권대갑researcher; Gweon, Dae-Gabresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2011
- Identifier
- 466320/325007 / 020075251
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2011.2, [ viii, 82 p. ]
- Keywords
동적 해석; 위치 오차 보정; 유연 기구; 스테이지; 높은 구조 강성; High structure stiffness; Dynamics analysis; Position error calibration; Flexure joint; H type stage
- Appears in Collection
- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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