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고종횡비 SU-8을 이용한 전기도금 금속 미세 구조물 제작과 그 응용에 대한 연구 = Fabrication of micro mechanical structure using electroplated thick metal with high aspect ratio SU-8 mold and its applicationlink 이진승; Lee, Jin-Seung; et al, 한국과학기술원, 2008 |
원형 진동판을 기반으로 제작된 압전 마이크로폰 = Piezoelectric microphone built on circular diaphragmlink 이운섭; Lee, Woon-Seob; et al, 한국과학기술원, 2008 |
전기도금공정을 이용하여 제작된 전해질 기울기 센서 = Electrolytic tilt sensor fabricated by using electroplating processlink 이재형; Lee, Jae-Hyoung; et al, 한국과학기술원, 2009 |
정전구동 미소 광개폐 소자의 평판 디스플레이 응용에 관한 연구 = Electrostatically driven micro-shutter for flat panel display applicationslink 이용일; Lee, Yong-Il; et al, 한국과학기술원, 1999 |
평면벽 근방의 평판에 작용하는 유체역학적 힘 : MEMS의 해석 및 응용 = Hydrodynamic force on a plate near the plane wall : analysis of MEMS and its applicationslink 김기운; Kim, Ki-Woon; et al, 한국과학기술원, 2003 |
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