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상부 전극 증착 조건이 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막의 전기적 특성에 미치는 영향 = The effects of deposition conditions of top elctrodes on the electrical properties of $Pb(Zr,Ti)O_3$ thin filmslink 이강운; Lee, Kang-Woon; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1999 | |
TiN와 Pt전극 위에 증기상 반응 스퍼터링 방법을 통한 $PbTiO_3$ 박막의 제조와 특성분석 = Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reaction sputteringlink 윤석중; Yun, Seok-Jung; 노광수; No, Kwang-Soo, 한국과학기술원, 2011 | |
TiN와 Pt전극 위에 증기상 반응 스퍼터링 방법을 통한 $PbTiO_3$ 박막의 제조와 특성분석 : Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reacti = Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reactilink 윤석중(Yun, Seok-Jung); 노광수(No, Kwang-Soo), 한국과학기술원, 2011 |
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