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Pd게이트 MOS센서의 수소검지특성에 박막성질이 미치는 영향 = The effect of the thin film properties on the hydrogen sensing performance of Pd gate MOS sensorlink 하정균; Ha, Jeong-Kyun; 박종욱; Park, Chong-Ook, 한국과학기술원, 1997 | |
Attenuated phase shifting mask용 $CrF_x$ Film의 특성 분석 및 모사 연구 = Characterization and simulation study of $CrF_x$ films for attenuated phase shifting masklink 김은아; Kim, Eun-Ah; 노광수; No, Kwang-Soo, 한국과학기술원, 1997 | |
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink 채정헌; Chae, Jung-Hun; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 1997 |
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